Chemikalien-Großdosiersystem für fortschrittliche Halbleiterfertigungsanwendungen und Prozesssicherheit

Chemikalien-Dosiersystem für fortschrittliche Anwendungen in der Halbleiterfertigung und Prozesssicherheit – Einleitung: Die Halbleiterindustrie benötigt hochreine Chemikalien zur Herstellung von integrierten Schaltungen, fortschrittlichen Gehäusen, MEMS-Bauelementen, Leistungshalbleitern und Display-Panels. Jeder Prozess, von der Waferreinigung bis zur Fotolithografie…


