Systematischer Leitfaden und wichtige Überlegungen zur Auswahl von SiH4-Ultrahochreinheitsreglern

Systematischer Leitfaden und wichtige Überlegungen zur Auswahl von hochreinen SiH4-Reglern. Silan (SiH4) ist das wichtigste Ausgangsmaterial für die Silizium-basierte Dünnschichtabscheidung in der Halbleiter-, Photovoltaik- (PV) und Flachbildschirmindustrie. Seine pyrophore, toxische und explosive Natur, kombiniert mit…


