
Unité de distribution de produits chimiques modulaire (CDU) pour la gestion des produits chimiques de procédés semi-conducteurs
Unité de distribution de produits chimiques (CDU) modulaire pour la gestion des produits chimiques de traitement des semi-conducteurs. Alors que la fabrication de semi-conducteurs évolue vers des nœuds de processus plus petits, un débit de plaquettes plus élevé et des flux de processus de plus en plus complexes, la gestion des produits chimiques de traitement est devenue un facteur critique dans les usines de fabrication de semi-conducteurs.









