Lub Txee Siv Roj Uas Tsis Siv Neeg Ua Haujlwm Jewellok: Kev Tsim Kho Kom Zoo Rau Kev Tswj Xyuas Roj Lom, Corrosive, thiab Reactive

1. Cov Ntsiab Lus Executive

Hauv kev lag luam uas xav tau ntau yam xws li kev tsim cov khoom siv semiconductor, kev tsim cov photovoltaic, thiab kev tshawb fawb txog tshuaj lom neeg siab heev, kev tswj hwm cov pa phem kom zoo thiab muaj txiaj ntsig yog qhov tseem ceeb heev. Cov pa phem xws li Silane (SiH₄), Phosphine (PH₃), thiab Hydrogen Chloride (HCl) muaj kev pheej hmoo loj vim lawv cov khoom lom, xeb, lossis ua rau muaj kev cuam tshuam. Kev tswj hwm tsis zoo tuaj yeem ua rau muaj kev puas tsuaj loj heev, ua rau cov neeg ua haujlwm, cov khoom siv, thiab kev tsim khoom tsis tu ncua muaj kev phom sij. Lub Jewellok Txee Roj Tsis Siv Neeg Tag Nrho tshwm sim los ua ib qho kev daws teeb meem zoo tshaj plaws, uas muaj kev ua tau zoo hauv kev xa roj. Lub txee no sib xyaw cov programmable logic controller (PLC)-based automation nrog ultra-high purity (UHP) Cheebtsam los xa cov txheej txheem tsis hloov pauv thaum tseem ceeb rau kev nyab xeeb.

Hauv nws lub hauv paus, lub kaw lus Jewellok txo qis kev cuam tshuam ntawm tib neeg hauv kev ua haujlwm uas muaj kev pheej hmoo siab, txo qhov ua yuam kev uas yuav ua rau muaj kev xau, kev raug mob, lossis kev tawg. Los ntawm kev ua kom lub voj voog ntxuav, kev hloov pauv lub tog raj kheej, thiab kev teb rau thaum muaj xwm txheej ceev, nws ua raws li cov qauv kev lag luam nruj xws li NFPA 55 thiab SEMI S2. Qhov no tsis yog tsuas yog txhim kho kev ua haujlwm zoo xwb tab sis kuj ua kom muaj kev ua raws li qhov chaw uas kev zam tsis ua haujlwm tsis tuaj yeem sib tham tau. Lub txee tsim qauv daws teeb meem ntau yam teeb meem ntawm kev tswj hwm roj, los ntawm kev ua kom zoo mus rau kev saib xyuas lub sijhawm tiag tiag, ua rau nws yog qhov khoom muaj nqis tseem ceeb rau cov chaw ua haujlwm nrog cov roj tshwj xeeb. Hauv lub sijhawm uas kev tsim khoom raug tsav tsheb kev nce qib thev naus laus zis, lub txee Jewellok sawv cev ua pov thawj rau kev tsim kho tshiab uas tiv thaiv ob qho tib si cov txheej txheem thiab tib neeg.

2. Kev Tsim Kho Vaj Tse thiab Cov Khoom Siv

Lub zog tseem ceeb ntawm Jewellok Fully Automatic Gas Cabinet yog nws cov qauv tsim kho kom ruaj khov, uas ua haujlwm ua thawj kab tiv thaiv kev phom sij. Lub tsev txee yog ua los ntawm 11-gauge txias-kuav hlau, muab kev ruaj khov zoo thiab tiv taus kev ntxhov siab. Kev xaiv cov khoom siv no yog ua tiav los ntawm cov qauv welded tag nrho, tshem tawm cov seams uas yuav ua haujlwm ua qhov tsis muaj zog rau cov roj xau lossis cov qauv tsis ua haujlwm. Kev tsim kho welded ua kom muaj kev ruaj khov airtight, tseem ceeb rau kev tswj cov pa phem hauv ib puag ncig tswj tau.

Cov yam ntxwv kev nyab xeeb tau muab tso ua ke rau hauv tus qauv tsim. Cov qhov rooj iav uas muaj hlau tiv thaiv hluav taws ua rau cov neeg teb xov tooj tuaj yeem ua qhov kev tshuaj xyuas pom ntawm cov khoom sab hauv yam tsis ua rau lub txee puas tsuaj. Cov qhov rooj no tau tsim los kom tiv taus qhov kub thiab txias thiab kev cuam tshuam, tswj cov txheej txheem kev nyab xeeb thaum lub sijhawm kuaj xyuas lossis xwm txheej ceev. Cov qhov rooj kaw nws tus kheej yog lwm qhov tseem ceeb, uas muaj cov qhov rooj kaw tshuab thiab cov hlau nplaum. Qhov kev teeb tsa no khaws cia qhov chaw siab tsis zoo uas tseem ceeb rau kev tiv thaiv cov pa roj tawm, ua raws li NFPA 55 thiab SEMI S2 cov qauv. Qhov siab tsis zoo ua kom ntseeg tau tias txhua qhov xau yuav raug xa mus rau sab hauv, deb ntawm cov neeg ua haujlwm thiab qhov chaw nyob ib puag ncig.

Kev ua pa tau zoo tshaj plaws los ntawm kev tsim cov pa tawm uas tau tsim los ntawm kev siv tshuab aerodynamic. Cov pa nkag mus rau hauv qab ntawm lub txee, txhawb kom muaj kev ntws ntawm tsawg kawg 200 linear feet ib feeb (LFPM) hla qhov qhib qhov rooj. Cov cua ntws ceev no ua haujlwm ua lub zog thaiv, tshem tawm cov pa phem thiab tswj hwm qhov chaw ua haujlwm huv si thiab muaj kev nyab xeeb. Kev sib xyaw ua ke ntawm cov qauv no tsis yog tsuas yog ua kom muaj kev tswj hwm xwb tab sis kuj ua rau yooj yim rau kev saib xyuas, ua rau nkag tau sai thaum tswj hwm kev nyab xeeb. Hauv cov lag luam muaj kev pheej hmoo siab, qhov twg cov xwm txheej ib puag ncig tuaj yeem tsis paub tseeb, qhov kev ua haujlwm raug zoo no ua kom lub txee muaj kev ntseeg siab dhau lub sijhawm ua haujlwm ntev, txo lub sijhawm tsis ua haujlwm thiab cov nqi cuam tshuam.

3. Lub Tsev Tswj Xyuas Tsis Siv Neeg Tag Nrho

Lub npe "Fully Automatic" ntawm Jewellok Gas txee yog txhawb nqa los ntawm nws cov qauv tswj hwm siab heev, uas yog lub hauv paus ntawm Jewellok Smart-Logic Controller. Lub kaw lus PLC-tsav no tshem tawm qhov yuam kev ntawm tib neeg los ntawm cov theem tseem ceeb ntawm kev tswj hwm roj, ua kom cov txheej txheem uas ib txwm vam khom kev saib xyuas tes. Los ntawm kev siv cov algorithms zoo heev, tus maub los tswj hwm kev ua haujlwm nrog kev ua haujlwm meej, kom ntseeg tau tias muaj kev ua haujlwm zoo hauv cov chaw teeb tsa kev lag luam dynamic.

Ib qho tshwj xeeb tshaj plaws yog lub voj voog ntxuav tsis siv neeg, uas siv ntau kauj ruam "Cross-Flow" purging txoj kev uas muaj lub tshuab nqus tsev thiab lub voj voog siab. Cov txheej txheem no tshem tawm cov tshuaj lom tawm ntawm cov pigtails thiab manifolds ua ntej tus neeg teb xov tooj cuam tshuam, xws li txiav cov thooj voos kheej kheej. Cov txheej txheem no txo ​​qhov kev pheej hmoo cuam tshuam nrog cov pa roj seem, tiv thaiv kev raug mob tsis raug cai thaum lub sijhawm txij nkawm. Hauv kev teeb tsa ob lub thooj voos kheej kheej, qhov kev hloov pauv tsis siv neeg kuj zoo ib yam. PLC saib xyuas tas li "Kev Nyuaj Siab Tsawg" lossis "Qhov Hnyav Tsawg", ua rau muaj kev hloov pauv mus rau lub thooj voos kheej kheej. Qhov no tiv thaiv kev cuam tshuam ntawm cov txheej txheem thaum cais lub thooj voos kheej kheej uas tsis siv neeg, tso cai rau nws tshem tawm yam tsis muaj kev cuam tshuam kev ua haujlwm.

Kev sib txuas ua rau lub kaw lus muaj peev xwm ntau ntxiv los ntawm kev xaiv saib xyuas deb. Kev sib koom ua ke ntawm RS-485 lossis Ethernet (TCP/IP) cov txheej txheem ua rau muaj kev sib txuas lus nrog cov kab ke Supervisory Control thiab Data Acquisition (SCADA) thoob plaws hauv chaw lossis Life Safety Systems (LSS). Qhov kev sib koom ua ke no ua rau muaj kev sib koom cov ntaub ntawv tiag tiag, kev saib xyuas ua ntej, thiab kev teb sai rau cov teeb meem tsis zoo. Cov neeg ua haujlwm tuaj yeem nkag mus rau kev kuaj mob los ntawm cov chav tswj hwm hauv nruab nrab, txhim kho kev saib xyuas yam tsis muaj lub cev nyob ze thaj chaw muaj kev phom sij. Lub tsev tswj hwm lub modularity kuj txhawb nqa scalability, pab txhawb kev nthuav dav hauv kev xa roj raws li cov chaw loj hlob. Zuag qhia tag nrho, lub moj khaum automation no hloov kev tswj hwm roj los ntawm kev teb rov qab mus rau kev qhuab qhia proactive, txhawb nqa kev ua haujlwm zoo thiab kev nyab xeeb hauv kev lag luam siab.

4. Kev Tsim Kho Manifold rau Cov Kev Phom Sij Tshwj Xeeb ntawm Cov Roj

Jewellok txoj kev tsim kho manifold yog tsim los rau cov kev phom sij tshwj xeeb ntawm ntau hom roj sib txawv, kom ntseeg tau tias muaj kev ua tau zoo tshaj plaws thiab kev nyab xeeb. Rau cov roj corrosive xws li Hydrogen Chloride (HCl), manifolds yog tsim los ntawm 316L VIM/VAR stainless hlau, electropolished rau qhov tiav ntawm <5 Ra. Qhov tiav du heev no txo ​​cov chaw nqus dej noo, uas yog cov neeg ua txhaum tseem ceeb hauv kev xeb sab hauv. Los ntawm kev txo qis qhov tsis sib xws ntawm qhov chaw, tus qauv tsim ua kom ntev lub neej ntawm cov khoom thiab tswj cov roj purity, tseem ceeb rau cov ntawv thov rhiab heev xws li semiconductor etching.

Rau cov pa roj uas muaj reactive lossis pyrophoric xws li Silane (SiH₄), lub kaw lus no muaj cov sensors uas ntsuas dej ntau dhau (EFS) thiab cov ntsuas nplaim UV/IR ua cov yam ntxwv txheem. Cov sensors no ntes tau cov teeb meem xws li dej ntws sai sai lossis cov xwm txheej hluav taws kub, ua rau lub valve "Emergency Shut-Off" (ESO) tsis siv neeg. ESO hloov mus rau qhov chaw kaw thaum muaj hluav taws xob poob lossis lub tswb ceeb toom, muab kev tiv thaiv tsis ua haujlwm tiv thaiv hluav taws lossis tawg. Txoj hauv kev no yog qhov tseem ceeb rau cov pa roj uas tuaj yeem hluav taws kub hauv huab cua, tiv thaiv kev nce qib ntawm cov xwm txheej.

Txhua yam khoom UHP, suav nrog cov li qub, yog diaphragm-sealed thiab orbital-welded kom ua tiav cov nqi helium xau tsawg dua 1 × 10^{-9} atm-cc/sec. Qib kev sib khi no khaws cov roj huv ntawm lub tog raj kheej mus rau qhov chaw siv, tshem tawm cov pa phem uas yuav ua rau cov khoom tsim khoom puas tsuaj. Kev hloov kho manifold raws li "tus cwj pwm" roj qhia txog Jewellok txoj kev cog lus rau kev tsim kho tshwj xeeb rau kev phom sij, kom ntseeg tau tias txhua lub txee tsis yog lub thawv dav dav tab sis yog cov cuab yeej tshwj xeeb uas phim cov kev xav tau tshuaj lom neeg ntawm daim ntawv thov.

5. Kev Nyab Xeeb thiab Lub tswb ceeb toom sib xyaw ua ke

Tshaj li kev kaw xwb, Jewellok gas txee ua haujlwm ua ib lub ecosystem kev nyab xeeb, nrog rau cov kab ke sib xyaw ua ke uas ntes tau, ceeb toom, thiab txo qhov kev hem thawj. Kev ntes cov pa roj tawm yog tswj los ntawm cov sensors onboard - txawm tias yog hom electrochemical lossis daim kab xev - calibrated meej rau hom roj hom phiaj. Cov sensors no muab cov lus ceeb toom ua ntej txawm tias qhov xau ntawm qib kab, tso cai rau kev cuam tshuam tam sim ntawd ua ntej cov concentration ncav cuag qhov txaus ntshai.

Cov cuab yeej hloov siab muab kev saib xyuas qhov tseeb ntawm kev xa khoom siab, lub tog raj kheej siab, thiab lub zog cua. Cov ntaub ntawv no pub rau hauv PLC rau kev tshuaj xyuas tas mus li, ua rau muaj kev ceeb toom kwv yees rau cov teeb meem xws li kev poob siab qhia txog kev xau lossis kev thaiv. Cov txuas fusible ntxiv ib txheej ntawm kev tiv thaiv thermal, ua haujlwm ua lub tshuab kaw uas ua rau ESO ua haujlwm thaum muaj hluav taws, txawm tias sab hauv lossis sab nraud. Cov txuas no yaj ntawm qhov kub uas tau teem tseg, ua kom muaj kev sib cais tsis siv neeg yam tsis tas yuav cia siab rau cov kab ke hluav taws xob.

Cov khoom siv tiv thaiv av qeeg tau muab tso ua ke nrog cov khoom siv sab hauv ntawm lub tog raj kheej uas tsim los tiv taus cov xwm txheej av qeeg hauv Cheeb Tsam 4, tiv thaiv av qeeg hauv cov cheeb tsam uas tsis muaj zog. Qhov no tiv thaiv lub tog raj kheej kom tsis txhob tawg, uas yuav ua rau tawg lossis nchuav. Ua ke, cov txheej txheem kev nyab xeeb no tsim ntau yam kev thaiv, qhov twg qhov ua tsis tiav hauv ib cheeb tsam tau them los ntawm lwm qhov, ua raws li cov kev coj ua zoo tshaj plaws hauv kev tswj hwm kev pheej hmoo.

6. Cov Txheej Txheem Ua Haujlwm: Kev Hloov Pauv Lub Tog Raj Kheej

Cov txheej txheem hloov lub tog raj kheej ua piv txwv txog Jewellok txoj kev ua haujlwm tsis siv neeg, hloov txoj haujlwm muaj kev pheej hmoo siab mus ua ib qho txheej txheem tswj tau thiab txheeb xyuas tau. Nws pib nrog kev cais tawm: PLC kaw lub valve txheej txheem, nres cov roj ntws mus rau cov khoom siv hauv qab. Tom ntej no, kev dilution tshwm sim thaum Nitrogen (N₂) raug qhia kom neutralize thiab dilute cov tshuaj lom hauv cov kab.

Tom qab ntawd, yuav muaj kev tshem tawm, siv lub twj tso kua mis venturi los rub lub manifold mus rau qhov siab hauv qab huab cua, thiab tshem tawm cov pa roj seem. Thaum kawg, kev kuaj xyuas yuav tsum muaj kev sim tswj siab uas PLC ua los xyuas kom meej tias tsis muaj qhov xau. Tsuas yog thaum dhau qhov kev sim no lawm xwb, lub kaw lus yuav ceeb toom tus neeg teb xov tooj kom qhib lub qhov rooj, kom ntseeg tau tias tsis muaj kev pheej hmoo ntawm kev raug tshuaj lom. Txoj kev ua raws li qhov kev npaj no tsis yog tsuas yog ua kom muaj kev nyab xeeb xwb tab sis kuj ua kom kev ua haujlwm yooj yim dua, txo lub sijhawm hloov pauv thiab txo kev koom tes ntawm tib neeg.

Xaus lus, lub Jewellok Fully Automatic Gas Cabinet rov txhais cov qauv hauv kev tswj cov pa phem los ntawm nws txoj kev tsim kho ua ke. Txij li kev ruaj khov ntawm cov qauv mus rau cov txheej txheem tsis siv neeg, nws muab kev raug, kev nyab xeeb, thiab kev ua haujlwm zoo, ua rau nws tseem ceeb rau cov ntawv thov kev lag luam niaj hnub no.

Rau ntxiv txog Lub txee roj av jewellok tag nrho: kev tsim khoom raug rau kev tswj hwm cov pa phem, corrosive, thiab reactive, koj tuaj yeem mus ntsib Jewellok ntawm https://www.jewellok.com/product-category/gas-cabinet/ yog xav paub ntau info.