Cov Regulators rau High Purity Krypton hauv Laser thiab Teeb Pom Kev Zoo

Krypton (Kr), ib qho roj muaj nqis uas muaj nyob hauv qhov ntau me me hauv ntiaj teb huab cua (kwv yees li 1 feem ib lab), tuav txoj haujlwm tseem ceeb tsis sib npaug hauv kev siv hauv kev lag luam thiab kev tshawb fawb. Nws cov khoom tshwj xeeb atomic - tshwj xeeb tshaj yog nws lub peev xwm los tso tawm thiab nqus lub zog ntawm cov kab spectral tshwj xeeb - ua rau nws tsis tseem ceeb hauv ob qhov sib txawv: high-power lasers thiab tshwj xeeb teeb pom kev zoo.

Hauv cov laser excimer, krypton yog ua ke nrog halogens (xws li fluorine) los tsim cov lasers Krypton Fluoride (KrF), uas tso tawm lub teeb ultraviolet tob tob uas tseem ceeb rau semiconductor lithography thiab kev phais mob corneal (LASIK). Hauv kev teeb pom kev zoo, krypton puv cov hnab ntawv ntawm cov teeb pom kev zoo incandescent thiab cov raj fluorescent, txo cov filament evaporation thiab txhim kho kev ua haujlwm thiab kev ua xim. Hauv ob qho tib si, qhov huv ntawm cov roj krypton tsis yog qhov nyiam xwb; nws yog qhov tsis tuaj yeem sib tham ua ntej rau kev ua tau zoo, kev nyab xeeb, thiab lub neej ntev ntawm cov khoom siv.

Qhov sib txuas ntawm lub tog raj kheej roj siab thiab daim ntawv thov yog lub tshuab tswj roj. Tsis yog ib lub valve yooj yim, ib qho tus tswj hwm rau kev ua kom muaj kev ntshiab siab krypton yog ib lub cuab yeej electromechanical uas yuav tsum tswj tau qhov kev ua haujlwm ntawm cov roj thaum xa nws ntawm qhov siab thiab qhov ntws. Tsab xov xwm no tshawb nrhiav cov teeb meem tseem ceeb ntawm kev tsim kho thiab cov qauv tsim ntawm cov regulators siv rau cov krypton purity siab hauv cov chaw xav tau no.

Qhov tseem ceeb ntawm Purity

Yuav kom nkag siab txog kev tsim lub tshuab tswj, ib tug yuav tsum xub nkag siab txog qhov kev hem thawj: kev ua qias tuaj. Feem ntau cov krypton uas muaj purity siab yog muab tso rau hauv cov thooj voos kheej kheej ntawm 99.999% (Qib 5) purity lossis siab dua. Cov impurities—me ntsis ntawm cov pa dej (H₂O), oxygen (O₂), nitrogen (N₂), lossis hydrocarbons—tuaj yeem muaj kev cuam tshuam loj heev rau cov txheej txheem downstream.

• Hauv KrF Lasers: Lub qhov laser xav tau qhov sib xyaw ua ke ntawm krypton, fluorine, thiab cov roj buffer zoo li neon. Fluorine yog hyper-reactive. Yog tias cov kwj deg krypton nqa cov dej vapor lossis hydrocarbons txawm tias qhov sib xyaw ua ke ntawm cov feem-ib-lab (ppm), cov no tuaj yeem cuam tshuam nrog fluorine, tsim cov tshuaj uas nqus cov laser beam, txo qis lub zog tso zis. Qhov phem dua, lawv tuaj yeem tsim cov khoom me me uas ua rau cov optics thiab electrodes tsis zoo, ua rau arcing thiab ua tsis tiav ua ntej ntawm lub laser module.

• Hauv Teeb Pom Kev: Hauv cov teeb incandescent lossis fluorescent, cov khoom tsis huv me me tuaj yeem hloov pauv cov tshuaj lom neeg hauv plasma. Cov pa oxygen tuaj yeem tawm tsam cov tungsten filament lossis electrodes. Nitrogen, txawm hais tias qee zaum siv los ua cov khoom ntxiv, tab sis yog tias tsis tswj hwm, tuaj yeem cuam tshuam rau lub peev xwm ionization thiab hloov pauv qhov kub xim thiab kev ua haujlwm ntawm lub teeb. Qhov tseem ceeb, cov khoom tsis huv tua cov teeb pom kev zoo thiab ua rau lub teeb siv tau ntev.

Yog li ntawd, lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm tus tswj hwm txuas ntxiv mus dhau qhov kev tswj siab; nws yuav tsum ua tus saib xyuas cov roj qhov huv si los ntawm lub tog raj kheej valve mus rau qhov chaw siv.

Qhov Anatomy ntawm a Kev Tswj Xyuas Krypton Siab-Purity

Ib qho cuab yeej tswj kev lag luam ib txwm muaj, tej zaum siv rau nitrogen hauv lub khw muag log tsheb, tsis haum rau krypton. Cov khoom uas kov cov roj yuav tsum tau tsim kom zoo kom tiv thaiv kev tawm roj, kev nqus, thiab kev xau.

1. Kev Xaiv Khoom Siv thiab Kev Tsim Kho (Cov Khoom Uas Muab Dej)
Cov "qhov chaw ntub dej" - cov khoom uas kov cov kwj deg krypton - yog thawj kab tiv thaiv. Cov ntaub ntawv siv niaj hnub xws li tooj dag lossis cov elastomers txheem (roj hmab) yog cov qhov me me lossis cov tshuaj lom neeg ua haujlwm ntawm qib microscopic. Lawv tuaj yeem ntes cov dej noo thiab huab cua thaum lub sijhawm tsim khoom, uas tom qab ntawd maj mam nkag mus rau hauv cov kwj deg roj huv si dhau sijhawm.

Rau cov krypton uas muaj purity siab, tus qauv yog stainless hlau, feem ntau yog 316L. Nws qhov chaw tsis muaj qhov thiab kev tiv thaiv corrosion siab tiv thaiv kev tawm pa tawm thiab cov tshuaj lom neeg. Cov nplaim sab hauv feem ntau raug electropolishing. Cov txheej txheem no ua rau cov hlau du ntawm qib microscopic, tshem tawm cov kab nrib pleb qhov twg cov khoom qias neeg tuaj yeem nkaum. Nws kuj tsim ib txheej chromium-nplua nuj uas yog passive thiab inert.

Cov foob sab hauv, cov diaphragms, thiab cov ntaub ntawv rooj zaum kuj tseem ceeb ib yam nkaus. Hloov chaw siv cov roj hmab O-rings txheem, cov neeg tswj hwm siv cov polymers tshwj xeeb xws li PCTFE (Polychlorotrifluoroethylene) lossis PEEK (Polyetheretherketone). Cov ntaub ntawv no muaj qhov permeability qis heev thiab cov nqi tawm pa tawm, kom ntseeg tau tias lawv tsis qhia cov hydrocarbons lossis nqus cov dej noo uas tom qab ntawd tuaj yeem tawm mus rau hauv cov pa roj.

2. Diaphragm vs. Poppet Design
Lub tshuab uas tswj cov dej ntws yog lwm qhov tseem ceeb sib txawv.

• Cov Khoom Siv Tswj Xyuas Poppet thiab Spring: Feem ntau siv rau hauv cov ntawv thov uas tsis tshua muaj teeb meem, cov no siv lub caij nplooj ntoos hlav uas thawb rau ntawm lub rooj zaum. Lub qia ntawm lub poppet hla dhau lub qog ntim mus rau sab nraud. Lub qog no yog txoj hauv kev xau thiab yog qhov chaw ntawm kev sib txhuam thiab tsim cov khoom me me.

• Cov Khoom Siv Diaphragm: Rau cov krypton uas muaj purity siab, yuav tsum muaj lub diaphragm-sealed regulator. Ntawm no, lub diaphragm hlau uas yoog tau lossis elastomeric cais cov pa roj sab hauv ntawm lub tshuab ua haujlwm (springs thiab adjusting screw). Qhov no tsim ib lub kaw lus hermetically kaw. Tsis muaj lub foob dynamic stem uas tuaj yeem xau. Qhov kev tsim no ua kom ntseeg tau tias cov pa roj hauv huab cua tsis tuaj yeem kis mus rau lwm qhov. mus rau hauv lub kaw lus thiab cov roj txheej txheem ntawd tsis tuaj yeem xau tawmQhov no yog qhov tseem ceeb rau kev nyab xeeb, vim tias krypton khaws cia rau ntawm qhov siab thiab, thaum tsis muaj tshuaj lom, yog ib qho ua rau ua tsis taus pa hauv qhov chaw kaw.

3. Kev Sib Txuas: Cov Qauv CGA thiab VCJ
Cov ntsiab lus uas tus tswj hwm txuas rau lub tog raj kheej thiab cov kab nqes mus yog cov ntsiab lus tsis muaj zog.

• CGA Qhov Nkag: Qhov kev sib txuas rau lub tog raj kheej yog tswj hwm los ntawm Compressed Gas Association (CGA) cov qauv kom tiv thaiv kev sib xyaw cov pa roj. Rau krypton, qhov kev sib txuas tus qauv yog CGA 580. Qhov sib txuas no yog tsim los nrog ib txoj xov tshwj xeeb thiab lub txiv mis zoo li tshwj xeeb rau cov pa roj inert thiab noble, kom ntseeg tau tias lub krypton regulator tsis tuaj yeem txuas nrog lub tog raj kheej oxygen lossis hydrogen. Lub foob feem ntau yog ua tiav los ntawm Teflon® lossis nylon gasket uas tau nias kom tsim lub foob roj-nruj.

• Qhov hluav taws xob txuas: Rau cov kab txuas mus rau hauv qab, feem ntau tsis siv cov xov yeeb nkab txheem. Hloov chaw, cov tshuab ua kom huv si siv cov khoom siv VCJ (Vacuum Coupling Radiation) lossis cov khoom siv sib xws. Cov no siv lub gasket hlau uas raug nias ntawm ob lub ntsej muag zoo li lub khob hliav qab. Thaum nruj, lub gasket yuav deform, tsim lub foob hlau rau hlau uas yuav luag tsis muaj qhov xau thiab tuaj yeem tiv taus qhov kub thiab txias thiab kev co yam tsis muaj kev xoob.

Kev Tswj Xyuas Ob Theem: Kev Tshawb Nrhiav Kev Ruaj Ntseg

Krypton siv rau hauv cov txheej txheem uas xav tau kev ruaj khov siab zoo kawg nkaus. Kev ua haujlwm ntawm lub laser excimer yog khi ncaj qha rau qhov siab thiab kev sib xyaw ntawm cov pa roj hauv nws lub chamber. Thaum cov roj raug noj los ntawm lub tog raj kheej, qhov siab hauv nws poob qis. Ib qho kev tswj hwm ib theem yuav tso cai rau qhov kev txo qis ntawm lub tog raj kheej kom cuam tshuam rau qhov siab tawm, ib qho xwm txheej hu ua "droop." Thaum lub tog raj kheej khoob, qhov siab tawm yuav maj mam nce, hloov pauv lub laser cov xwm txheej ua haujlwm thiab ua puas tsuaj rau cov txheej txheem.

Kom tawm tsam qhov no, cov txheej txheem krypton uas muaj kev ntshiab siab yuav luag tsuas yog siv ob-theem regulators.

Cov khoom siv no muaj ob lub regulators hauv ib lub cev.

1. Theem Ib: Qhov no yog lub tshuab tswj qhov siab uas tsis hloov pauv uas txo qhov siab ntawm lub tog raj kheej (txog li 2000-6000 psi) mus rau qhov ruaj khov, nruab nrab (piv txwv li, 300 psi).

2. Theem Ob: Tus tswj hwm no hloov kho tau siv lub zog nruab nrab ruaj khov thiab txo nws ntxiv mus rau qhov siab ua haujlwm tseeb uas daim ntawv thov xav tau (piv txwv li, 15-100 psi rau lub teeb, lossis lub tshuab nqus tsev tshwj xeeb rau kev sib tov laser).

Vim tias theem ob yeej ib txwm muaj lub siab nkag los ntawm theem thawj, nws lub siab tawm tseem ruaj khov heev, txawm tias lub tog raj kheej puv lossis yuav luag khoob. Qhov "xauv-hauv" no yog qhov tseem ceeb rau cov txiaj ntsig zoo rov ua dua hauv kev tshawb fawb thiab kev lag luam.

Kev Muaj Peev Xwm Tshem Tawm thiab Kev Sib Koom Tes Hauv System

Kev txhim kho lub tog raj kheej tshiab ua rau muaj kev pheej hmoo ntawm kev ua qias tuaj: cua nkag mus rau hauv qhov nkag ntawm lub tshuab tswj thaum lub tog raj kheej raug txiav tawm. Yog tias cov cua no raug thawb mus rau hauv lub laser lossis lub teeb pom kev zoo, nws yuav ua rau muaj kev puas tsuaj loj heev. Yog li ntawd, cov tshuab tswj hwm uas muaj kev ntshiab siab feem ntau raug koom ua ke rau hauv lub vaj huam sib luag roj loj dua nrog cov yam ntxwv ntxuav.

Muaj ntau lub krypton-ready regulators muaj lub qhov dej ntxuav uas sib xyaw ua ke. Cov txheej txheem teeb tsa kom raug suav nrog:

1. Txuas lub regulator rau lub tog raj kheej tshiab.

2. Qhib lub qhov valve ntawm lub tog raj kheej me ntsis (nrog rau qhov hluav taws xob ntawm lub regulator kaw) kom nias lub qhov nkag ntawm lub regulator.

3. Qhib lub qhov cua tso pa tawm. Lub krypton siab siab khiav hla lub cev tswj thiab tawm ntawm lub qhov cua tso pa tawm, tshem tawm cov cua uas tau nkag mus. Cov txheej txheem no rov ua dua ntau zaus kom ntseeg tau tias qhov ntim sab hauv yog krypton ntshiab ua ntej cov roj raug xa mus rau hauv qab.

Hauv cov txheej txheem nyuaj dua, xws li cov uas pub cov cuab yeej semiconductor ntau lub chamber, lub regulator yog ib feem ntawm lub manifold hloov pauv tsis siv neeg nrog lub voj voog purge tsis siv neeg. Cov txheej txheem no siv ntau lub valve thiab regulators los hloov ntawm cov thooj voos kheej kheej khoob thiab puv yam tsis muaj kev ua qias tuaj rau hauv huab cua.

Kev nyab xeeb thiab kev xav txog ib puag ncig

Txawm hais tias cov tshuaj lom neeg tsis muaj zog, krypton muaj kev pheej hmoo ntawm kev nyab xeeb uas tus tswj hwm yuav tsum tswj hwm. Nws khaws cia rau ntawm qhov siab heev. Yog tias tus tswj hwm ua tsis tiav - tshwj xeeb, yog tias nws lub rooj zaum siab tsis kaw - tag nrho cov kab ke hauv qab, uas tau tsim los rau qhov siab qis, yuav raug rau qhov siab tag nrho ntawm lub tog raj kheej. Qhov no tuaj yeem ua rau cov kab tawg, tsim kev phom sij rau projectile thiab tso tawm sai ntawm cov pa roj asphyxiating.

Yuav kom tiv thaiv tau qhov no, txhua lub tshuab tswj hwm zoo uas muaj cov khoom siv huv si muaj lub qhov cua tso pa tawm (PRV). Lub cuab yeej no tau teeb tsa kom qhib ntawm qhov siab me ntsis siab dua qhov siab tshaj plaws ntawm lub tshuab tswj hwm. Yog tias lub tshuab tswj hwm ua haujlwm tsis zoo thiab muaj siab ntxiv, PRV yuav tso cov pa roj ntau dhau mus rau qhov chaw tswj hwm kom zoo (feem ntau yog lub tshuab tso pa tawm lossis "scrubber" hauv ib puag ncig zoo), tiv thaiv cov khoom siv thiab cov neeg ua haujlwm hauv qab.

xaus

Qhov kev phais qhov muag laser niaj hnub no thiab kev siv hluav taws xob zoo ntawm cov tshuab teeb pom kev zoo siab heev ua tau los ntawm ntau yam thev naus laus zis, thaum pib ntawm qhov ntawd muaj ib lub cuab yeej me me, tsis muaj zog: lub roj regulator. Rau cov krypton uas muaj cov khoom siv siab, lub regulator tsis yog tsuas yog lub pob qhov siab xwb; nws yog ib qho tseem ceeb uas tau tsim los ua ib qho khoom siv uas tsis pom.

Los ntawm kev siv cov hlau tsis xeb electropolished, cov polymer seals siab heev, cov diaphragms kaw hermetically, thiab ob-theem siab tsim, cov regulators no ua kom ntseeg tau tias cov roj noble tuaj txog ntawm qhov chaw siv raws nraim li nws tau ua thaum nws tawm hauv tus neeg muag khoom - pristine thiab npaj txhij ua haujlwm. Lawv yog cov neeg saib xyuas ntsiag to ntawm kev dawb huv, cov stabilizers ntawm siab, thiab qhov tseem ceeb interface uas tso cai rau krypton xa nws lub teeb thiab lub zog tshwj xeeb nrog kev tseeb thiab kev ntseeg siab.

Yog xav paub ntxiv txog cov regulators rau high purity krypton hauv laser thiab teeb pom kev zoo, koj tuaj yeem mus saib Jewellok ntawm https://www.jewellok.com/ yog xav paub ntau info.