Ultra High Purity Trimethylaluminum TMA Gas Txee Txee Cov Khoom Siv Rau Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob Tshwj Xeeb Hauv Semiconductor

Ultra High Purity Trimethylaluminum TMA Gas Txee Txee Cov Khoom Siv Rau Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob Tshwj Xeeb Hauv Semiconductor

Jewellok specializes nyob rau hauv tag nrho tsis siv neeg thiab semi-automatic GC roj txee, BSGS roj txee, VMB roj txee, TMA roj txee, Scrubber Tail Gas kho txee, roj faib txee, VDB roj txee, thiab VDP roj txee, haum rau gases xws li SiH4, NF3, NH3, N2O, thiab HCI.

Ultra High Purity (UHP) Trimethylaluminum (TMA) cov khoom siv roj yog cov tshuab tshwj xeeb tsim los rau kev nyab xeeb thiab ua tau zoo ntawm TMA, ib qho tseem ceeb hauv kev tsim khoom semiconductor. TMA, cov khoom siv hluav taws xob zoo heev, yog siv rau hauv cov txheej txheem xws li Atomic Layer Deposition (ALD) thiab Hlau-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) kom tso cov yeeb yaj kiab nyias, xws li txhuas oxide, rau cov microelectronics siab heev.

Lub TMA roj txee ua kom meej meej, tsis muaj paug paug ntawm cov kua pyrophoric no, uas vaporizes rau hauv cov roj siv. Lub kaw lus yog tsim los ua kom tau raws li cov qauv kev lag luam nruj me ntsis, txo qis impurities uas tuaj yeem cuam tshuam wafer zoo. Cov khoom tseem ceeb muaj xws li lub txee stainless-steel, lub tshuab xa kua, siab huv li qub, thiab cov sensors siab heev. Lub txee yog tsim los rau kev nyab xeeb, suav nrog cov yam ntxwv zoo li kev kuaj pom, lub tshuab kaw lub tshuab hluav taws xob, thiab cov tshuab tso pa tawm los tswj TMA qhov flammability thiab reactivity.

Lub tshuab xa khoom ua kua feem ntau suav nrog lub tshuab ua npuas lossis cov kua dej ncaj qha, qhov twg TMA yog vaporized siv cov pa roj (xws li, nitrogen lossis argon) lossis cua sov los tsim cov pa ruaj khov. Precision tswj tshuab tswj qhov kub, siab, thiab ntws tus nqi kom ntseeg tau tias kev xa khoom zoo ib yam rau cov cuab yeej tso nyiaj. Lub txee lub UHP kev tsim kho, nrog rau qhov chaw electropolished thiab VCR fittings, tiv thaiv kev kis kab mob los ntawm cov khoom los yog kab hlau.

TMA cov khoom siv roj av tau nruab nrog cov kev soj ntsuam siab heev, suav nrog cov tshuab hluav taws xob siab thiab cov tswj hwm huab hwm coj, txhawm rau tswj cov txheej txheem kev ntseeg tau. Kev saib xyuas tsis tu ncua thiab kev tswj hwm nruj yog qhov tseem ceeb vim TMA qhov kev nkag siab zoo rau huab cua thiab noo noo. Cov tshuab no yog ib qho tseem ceeb rau cov khoom siv hluav taws xob semiconductor, ua kom muaj txiaj ntsig zoo ntawm kev sib koom ua ke thiab cov khoom siv optoelectronic.

Hauv cov ntsiab lus, UHP TMA cov khoom siv roj tseem ceeb yog qhov tseem ceeb rau kev xa cov khoom siv siab huv TMA hauv kev tsim khoom semiconductor. Lawv cov qauv tsim ua kom muaj kev nyab xeeb, kev ua tau zoo, thiab kev ntseeg siab, txhawb kev tsim cov khoom siv microelectronics.

 

Kev ntaub ntawv

qauv	JW-400-TMA
specification	W800 * D633 * H2172
Tshwj xeeb roj txee loj	Tswj fais fab mov: 220VAC, 50HZ, 500W, cua sov fais fab mov: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Tswj txee fais fab mov	PN 2,1, 4/XNUMX "MVCR
purge	HPN 2,1, 4/XNUMX" MVCR
Kev kub siab tuav	GN2.1/4" MVCR
lub tshuab nqus tsev	1/2" MVCR
VENT cov kav dej	CDA tsav tsheb, 1/4 "SWG
Pneumatic cua qhov chaw	OD 150MM, silane 810m / h; lwm 204m3/h
Txee qhov cua	Tsis siv neeg hloov, tsis siv neeg purging, tawg-pov thawj thiab tiv thaiv tawm txee, tawg-pov thawj nws tus kheej-locking qhov rooj, tawg-pov thawj iav tsom qhov rais, xau tswb, tej thaj chaw deb txiav tawm, tsis zoo lub tswb
Cov sijhawm ua haujlwm interface	10 "xim kov npo

yeem
* UV / IR nplaim taws ntes
* Lub tog raj kheej kaw
* Vaj huam sib luag cua sov
* Ethernet kev sib txuas lus module
* Ntsuas qhov hnyav
* Tshaj Flow Switch