高圧および超高圧ガス用ステンレススチール低圧シール空気圧ダイヤフラム制御バルブ

超高純度ダイヤフラムバルブ

低圧空気圧ダイヤフラムバルブ

特長
ボディ
*超高純度用途向けの316L VIM-VARステンレス鋼ボディ素材。
*内面粗さはRa5µinに達し、流路を完全に洗浄できます。
1.閉じ込められる領域を最小限に抑えます。
2.パージを容易にします。
3. 流量を最大化します。

ダイアフラム
*強度と耐腐食性のためのハステロイ C-22 またはコバルトベースの超合金 (UNS R30003) 材料。
*長いサイクル寿命のための最適な設計。

座席
*完全に密閉された PCTFE シート設計により、次のことが実現します。
1.膨潤および汚染に対する優れた耐性。
2.ヘリウムリークテスト性能の向上。
3.粒子生成が最小限に抑えられます。
4.長いサイクル寿命。

*高清浄度の組立・包装は高純度半導体産業に適しています。
*すべての製品は工場を出荷する前にヘリウムテストを受けます。

技術データ

商品サイズ

寸法（ミリメートル単位）は参考値であり、変更される可能性があります。

流路形状

オーダー情報

※上記は標準発注仕様となります。その他の仕様、型式をご注文の場合は、弊社営業担当または代理店までお問い合わせください。