Înțelegerea componentelor dulapului de gaz ALD și a arhitecturii de alimentare cu gaz

Înțelegerea componentelor dulapului de gaz ALD și a arhitecturii de livrare a gazului Introducere Pe măsură ce tehnologia semiconductorilor avansează către noduri de proces mai mici și structuri de dispozitive din ce în ce mai complexe, depunerea în straturi atomice (ALD) a devenit una dintre cele mai importante tehnologii de depunere în peliculă subțire din cipurile moderne...







