Система массовой подачи химических реагентов для передовых применений в полупроводниковом производстве и обеспечения безопасности технологических процессов.

Система подачи химических реагентов в больших объемах для применения в передовом полупроводниковом производстве и обеспечения безопасности технологических процессов. Введение. Полупроводниковая промышленность полагается на химические вещества сверхвысокой чистоты для производства интегральных схем, передовых упаковочных материалов, МЭМС-устройств, силовых полупроводников и дисплейных панелей. Каждый процесс, от очистки пластин и фотолитографии…


