Schlagwort: CVD gas precursor delivery systems manufacturer

Fortgeschrittene CVD-Gaspräkursor-Zuführtechniken für die Halbleiterfertigung

Chemiemodul (CDM) und Chemieversorgungssystem (CDS)

Fortschrittliche CVD-Gaspräkursor-Zuführungstechniken für die Halbleiterfertigung Einführung Da sich Halbleiterbauelemente kontinuierlich in Richtung kleinerer Prozessknoten, höherer Transistordichten und zunehmend komplexer dreidimensionaler Architekturen weiterentwickeln, haben die Anforderungen an die Prozessgenauigkeit ein noch nie dagewesenes Niveau erreicht. Zu den kritischen Technologien...