Membranventile mit ultrahoher Reinheit für VMB-, VMP- und Gasschranksysteme

Ultrahochreine Membranventile für VMB-, VMP- und Gasschranksysteme – Einleitung: In der Halbleiterfertigung, der pharmazeutischen Produktion, biotechnologischen Laboren und Spezialgasverteilungssystemen ist die Aufrechterhaltung ultrahochreiner (UHP) Prozessumgebungen von entscheidender Bedeutung. Selbst geringste Verunreinigungen können negative Auswirkungen haben…






