









Módulo de suministro de productos químicos líquidos (CDM) para la fabricación de semiconductores y la producción de materiales de ultra alta pureza.
Módulo de suministro de productos químicos líquidos (CDM) para la fabricación de semiconductores y la producción de materiales de ultra alta pureza.
In the world of semiconductor fabrication, precision is everything. A Chemical Delivery Module (CDM) serves as the critical “point-of-use” brain within a facility’s fluid infrastructure, ensuring that process chemicals are delivered with absolute consistency and ultra-high purity (UHP).
Unlike bulk systems that simply transport fluids, a CDM is designed for high-accuracy blending and dilution. It takes concentrated chemicals and mixes them with deionized water to create exact “recipes” required for sensitive processes like etching and cleaning. To maintain parts-per-trillion (ppt) purity, these modules are constructed using 316L electropolished stainless steel and high-grade fluoropolymers, preventing any particle shedding that could ruin a silicon wafer.
Beyond purity, the CDM is a powerhouse of safety and automation. Integrated PLC controls allow for “set-and-forget” reliability, while secondary containment and leak detection sensors protect the cleanroom environment from hazardous materials. By bridging the gap between bulk storage and production tools, the Chemical Delivery Module ensures that the “circulatory system” of a microchip factory remains contamination-free, efficient, and safe.
Datos técnicos
| Modelo | JW-300-LDS |
| Tamaño del gabinete para gas especial | W1900*D800*H2100 |
| Fuente de alimentación del gabinete de control | Alimentación de control: 220VAC, 50HZ, 500W, alimentación de calefacción: 220VAC, 50HZ, 1-6KW |
| Purgar | PN2,1/4”MVCJ |
| Mantenimiento de alta presión | GN2.1/4” MVCJ |
| Aspiradora | 1/2” MVCJ |
| tubo de drenaje de ventilación | Controlador CDA, SWG de 1/4 pulgada |
| Fuente de aire neumático | OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr |
| Ventilación del armario | OD 150MM, silane 810m³/hr; others 204m³/hr |
| Equipamiento estándar | Conmutación automática, purga automática, armario antiexplosivo y antisalida, puerta autoblocante antiexplosiva, ventana de observación de vidrio antiexplosivo, alarma de fugas, desconexión remota, alarma de presión negativa |
| Interfaz de operación | Pantalla táctil a color de 10 pulgadas |
Opcional
Detector de llama UV/IR
*Cylinder heating
Calefacción por paneles
*Módulo de comunicación Ethernet
Báscula
*Interruptor de flujo excesivo
*Smoke Sensor Switch

Application:
semiconductor
Fotovoltaico
Energía solar
Panel de cristal líquido
Fibra óptica
Otros campos de producción
Productos químicos especializados que se manipulan
HF - Ácido fluorhídrico
HCl - Ácido clorhídrico
H2O2 - Peróxido de hidrógeno
KOH - Hidróxido de potasio
HNO3- Ácido nítrico
NH4OH- Hidróxido de amonio
H2SO4- Ácido sulfúrico
Function:
Liquid chemical filtration
Liquid chemical sampling
Liquid chemical circulation
Liquid chemical delivering




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