Szafa gazowa do trimetyloaluminium o wysokiej czystości TMA Szafa dozowania cieczy używana do układu dostarczania gazów specjalnych w przemyśle półprzewodnikowym

Szafa gazowa do trimetyloaluminium o wysokiej czystości TMA Szafa dozowania cieczy używana do układu dostarczania gazów specjalnych w przemyśle półprzewodnikowym

Jewellok specjalizuje się w w pełni automatycznych i półautomatycznych szafach gazowych GC, szafach gazowych BSGS, szafach gazowych VMB, szafach gazowych TMA, szafach do oczyszczania gazów odlotowych Scrubber, szafach dystrybucji gazu, szafach gazowych VDB oraz szafach gazowych VDP, odpowiednich dla takich gazów jak SiH4, NF3, NH3, N2O i HCl.

Szafy gazowe z trimetyloglinem (TMA) o ultra wysokiej czystości (UHP) to wyspecjalizowane systemy zaprojektowane do bezpiecznego i wydajnego dozowania TMA, kluczowego prekursora w produkcji półprzewodników. TMA, wysoce reaktywny związek metaloorganiczny, jest stosowany w procesach takich jak osadzanie z warstw atomowych (ALD) oraz chemiczne osadzanie z fazy gazowej z użyciem związków metaloorganicznych (MOCVD) do osadzania cienkich warstw, takich jak tlenek glinu, w zaawansowanej mikroelektronice.

Szafa gazowa TMA zapewnia precyzyjny, wolny od zanieczyszczeń przepływ tej piroforycznej cieczy, która w celu użycia odparowuje do postaci gazowej. System został zaprojektowany tak, aby spełniać surowe standardy przemysłu półprzewodnikowego, minimalizując zanieczyszczenia, które mogłyby pogorszyć jakość wafelek krzemowych. Kluczowe komponenty obejmują szafę ze stali nierdzewnej, układ podawania cieczy, zawory o wysokiej czystości oraz zaawansowane czujniki. Szafa została zaprojektowana z myślą o bezpieczeństwie i uwzględnia takie elementy jak wykrywanie nieszczelności, automatyczne zawory odcinające oraz układy wyciągowe radzące sobie z łatwopalnością i reaktywnością TMA.

Mechanizm doprowadzania cieczy zazwyczaj wykorzystuje system z bublerem lub bezpośrednim wtryskiem cieczy, w którym TMA jest odparowywane przy użyciu gazu nośnego (np. azotu lub argonu) lub podgrzewane w celu uzyskania stabilnego przepływu gazu. Precyzyjne układy sterowania regulują temperaturę, ciśnienie i natężenie przepływu, aby zapewnić stałe doprowadzanie do urządzeń osadzających. Konstrukcja UHP szafy, z elektropolerowanymi powierzchniami i złączkami VCJ, zapobiega zanieczyszczeniu cząstkami stałymi lub śladowymi ilościami metali.

Szafy gazowe TMA są wyposażone w zaawansowane systemy monitorowania, w tym przetworniki ciśnienia i kontrolery masowego przepływu, w celu zapewnienia niezawodności procesu. Regularna konserwacja i ścisłe protokoły obsługi są kluczowe ze względu na wrażliwość TMA na powietrze i wilgoć. Systemy te stanowią integralną część zakładów produkcji półprzewodników, umożliwiając wysokowydajną produkcję układów scalonych i urządzeń optoelektronicznych.

Podsumowując, szafy gazowe UHP TMA mają kluczowe znaczenie dla dostarczania TMA o wysokiej czystości w produkcji półprzewodników. Ich solidna konstrukcja zapewnia bezpieczeństwo, precyzję i niezawodność, wspierając produkcję najnowocześniejszej mikroelektroniki.

 

Dane techniczne

Model	JW-400-TMA
Specyfikacja	S800*G633*W2172
Wymiary specjalnej szafy gazowej	Zasilanie sterowania: 220VAC, 50HZ, 500W, zasilanie grzejnika: 220VAC, 50HZ, 1-6KW
Zasilacz szafy sterowniczej	PN2,1/4”MVCJ
Czystka	HPN2,1/4”MVCJ
Podtrzymanie wysokiego ciśnienia	GN2.1/4” MVCJ
Odkurzacz	1/2” MVCJ
Rura spustowa wentylacyjna	wkrętak do śrub z łbem czworokątnym, 1/4″ SWG
pneumatyczne źródło zasilania	OD 150mm, silan 810 m/h; inne 204 m3/h
Wentylacja szafy	Automatyczne przełączanie, automatyczne oczyszczanie, szafa przeciwwybuchowa i zabezpieczona przed przemieszczeniem, drzwi przeciwwybuchowe samoblokujące, przeciwwybuchowe szklane okno wziernikowe, alarm wycieku, zdalne odcięcie, alarm podciśnienia
Interfejs operacyjny	Kolorowy ekran dotykowy 10″

Opcjonalnie
*Czujnik płomienia UV/IR
*Cylinder Shutboy
Ogrzewanie panelowe
* Moduł komunikacji Ethernet
Waga łazienkowa
*Wyłącznik nadmiarowy przepływu