Модуль высокоточной подачи химикатов (CDM) для полупроводниковой промышленности и систем распределения особо чистых химических веществ

Модуль высокоточной подачи химикатов (CDM) для полупроводникового производства и распределения химикатов высокой чистоты. Введение: по мере того как производство полупроводников продолжает двигаться в сторону уменьшения технологических норм, повышения выхода годных пластин и внедрения более совершенных технологий изготовления, точность систем подачи химикатов приобретает всё более критическое значение…





