Как безопасно эксплуатировать газораспределительный коллектор TMA

Как безопасно эксплуатировать газопереключающий коллектор для триметилалюминия (ТМА). Триметилалюминий (ТМА) является незаменимым прекурсором в производстве полупроводников и в области материаловедения, особенно для процессов атомно-слоевого осаждения (ALD) и металлоорганического химического осаждения из газовой фазы (MOCVD). Будучи пирофорным, чувствительным к влаге…






