كيفية تشغيل نظام تحويل غاز TMA بأمان

كيفية التشغيل الآمن لمنظومة تبديل غاز تري ميثيل الألومنيوم (TMA)؛ يُعد تري ميثيل الألومنيوم (TMA) مادة بادئة لا غنى عنها في تصنيع أشباه الموصلات وعلوم المواد المتقدمة، لا سيما في عمليات ترسيب الطبقات الذرية (ALD) والتبرسيب الكيميائي للبخار المعدني العضوي (MOCVD). ونظراً لكونه مادة ذاتية الاشتعال وحساسة للرطوبة...






