Сверхчистые химические реагенты CDS и CDM для подачи и разбавления в полупроводниковой промышленности — производитель регулирующих клапанов и регуляторов давления.

Сверхчистые химические реагенты CDS и CDM для доставки и разбавления в полупроводниковом производстве

Компания Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd. предлагает передовые решения для работы с химическими веществами сверхвысокой чистоты (UHP), включая модули подачи химических веществ (CDM) и системы подачи химических веществ (CDS). Системы CDS и CDM от Jewellok автоматизируют работу с химическими веществами высокой чистоты. Система CDS используется для транспортировки больших объемов веществ со склада на предприятие по электрополированным трубопроводам из стали 316L. Система CDM используется для точного смешивания и разбавления в месте использования. Обе системы обеспечивают безопасность и чистоту благодаря автоматическому обнаружению утечек и бесконтактному контролю уровня.

Технические данные

Модель	JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
Специальный размер газового шкафа	Ш2200Г1500В2000 (двойной барабан)/Ш2990Г2100В2000 (двойной барабан)
Источник питания шкафа управления	220 В переменного тока, 50 Гц, 0,5–3 кВт, защита от утечки тока.
Удалять	PN2,SS316 1/2″SWG
Сверхчистая вода	UPW, соединение JIS 16A
Сжатый воздух	CDA,SS316 1/2″SWG
Сливное отверстие	Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN20/Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN25
Стандартное оборудование	Корпус из полипропилена + прозрачное смотровое окно из ПВХ + внутренний трубный клапан из PFA, продувка азотом, отбор проб, полностью автоматическая подача кислоты, автоматическое переключение между левым и правым резервуарами. Насос имеет два режима работы и один резервный. Автоматическое переключение режима подачи жидкости в зависимости от уровня жидкости в резервуаре. Сенсорный экран отображает рабочее состояние каждого клапана и состояние подачи жидкости по трубопроводу. Автоматическое отключение подачи жидкости, раннее предупреждение и сигнализация о рабочем состоянии каждой части системы, самопроверка и подтверждение безопасности, простая система, поддержка нескольких языков, поддержка нескольких входных сигналов, сканер кодов, высокоэффективный фильтр, датчик открытия двери (опционально).

*Панель аварийного ручного управления
*Высокоэффективный фильтр
*Датчик двери

модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)

Сверхвысокая чистота (UHP) Системы доставки химических веществ (СДВ) и Модули подачи/разбавления химических веществ (CDM) являются основой современного производства полупроводников. Эти системы гарантируют, что летучие химические вещества высокой чистоты попадают на производственную линию без загрязнения.

Он CDS выступает в качестве основной инфраструктуры. Построен из электрополированного металла. нержавеющая сталь 316L, Он транспортирует химикаты в больших объемах со склада на предприятие. Его главная цель — поддержание непрерывного потока без пузырьков. Используя бесконтактное измерение уровня Благодаря автоматизированному обнаружению утечек, система CDS сокращает время простоя производства и предотвращает воздействие опасных веществ, что делает ее незаменимой для крупномасштабных операций.

Он CDM Обеспечивает точность, необходимую в месте использования. Специализируется на автоматическое смешивание, Этот модуль смешивает химические вещества в больших объемах с деионизированной водой в соответствии со строгими рецептурами. Он заменяет ручную обработку, обеспечивая точное соотношение концентраций благодаря прецизионным регулирующим клапанам. Такая автоматизация имеет решающее значение для деликатных процессов, таких как травление и очистка пластин, где даже незначительный химический дисбаланс может испортить партию.

Вместе эти системы обеспечивают решение “от массового производства до готовой продукции”. Они отдают приоритет безопасность посредством автоматизированной переналадки и чистота благодаря высококачественной фильтрации. Для производителей внедрение технологий CDS и CDM от Jewellok означает снижение количества частиц, повышение безопасности и значительно более надежные производственные циклы.

Сверхчистые химические реагенты CDS и CDM для доставки и разбавления в полупроводниковом производстве

Похожие товары

Модуль точной подачи жидких химических реагентов (CDM) с ПЛК-управлением для обеспечения чистоты на уровне частей на триллион при производстве солнечных элементов.

Интеграция модуля подачи сверхчистых химических веществ (CDM) и блока клапанного коллектора повышает выход годных полупроводниковых изделий.

Система подачи сверхчистых жидких химических веществ в больших объемах (BCDS) для поддержания чистоты на уровне частей на триллион в производстве.