Liquid Chemical Valve Manifold Box Chemical Dispensing Units, Semi & Fully Automatic Chemical Filling Equipment - Control Valves And Pressure Regulators Manufacturer

Liquid Chemical Valve Manifold Box Chemical Dispensing Units, Semi & Fully Automatic Chemical Filling Equipment

In semiconductor and high-tech manufacturing, the precise distribution of hazardous and high-purity chemicals is managed through a specialized hierarchy of equipment. This includes Valve Manifold Boxes (VMB), Chemical Dispensing Units (CDU), and specialized Filling Equipment, all working together to ensure a safe, contamination-free environment.

Valve Manifold Boxes (VMB)

Он VMB acts as the central traffic controller for chemical distribution. It takes a single supply line from a bulk source and splits it into multiple branches to feed various process tools. Typically constructed from нержавеющая сталь 316L or high-purity plastics, VMBs are equipped with manual or pneumatic valves, pressure transducers, and nitrogen purge ports. This allows maintenance on a single production tool without shutting down the entire facility’s chemical supply.

Chemical Dispensing Units (CDU)

Он CDU is the “point-of-use” brain of the system. While a VMB simply directs flow, a CDU actively manages it. These units often include high-precision pumps, filtration systems, and flow meters to dispense exact volumes of chemicals. They are essential for applications requiring precise recipe control, such as photoresist coating or wafer cleaning. By automating the dispense cycle, CDUs eliminate the variability and safety risks associated with manual handling.

Semi & Fully Automatic Chemical Filling Equipment

Filling systems are used to safely transfer chemicals from bulk transport containers into the facility’s internal supply tanks.

Semi-Automatic: Requires an operator to initiate the connection and monitor the process, but the system handles the actual liquid transfer and level shut-off.
Fully Automatic: Features robotic or advanced sensor-driven interfaces that handle the entire cycle—from drum identification and vacuum-leak testing to nitrogen blanketing and final disconnection.

Together, these components create a robust Automatic Liquid Supply infrastructure. They prioritize operator safety through leak detection and secondary containment while ensuring the ultra-high purity required for advanced manufacturing.

Технические данные

Модель	JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
Специальный размер газового шкафа	Ш2200Г1500В2000 (двойной барабан)/Ш2990Г2100В2000 (двойной барабан)
Источник питания шкафа управления	220 В переменного тока, 50 Гц, 0,5–3 кВт, защита от утечки тока.
Удалять	PN2,SS316 1/2″SWG
Сверхчистая вода	UPW, соединение JIS 16A
Сжатый воздух	CDA,SS316 1/2″SWG
Сливное отверстие	Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN20/Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN25
Стандартное оборудование	Корпус из полипропилена + прозрачное смотровое окно из ПВХ + внутренний трубный клапан из PFA, продувка азотом, отбор проб, полностью автоматическая подача кислоты, автоматическое переключение между левым и правым резервуарами. Насос имеет два режима работы и один резервный. Автоматическое переключение режима подачи жидкости в зависимости от уровня жидкости в резервуаре. Сенсорный экран отображает рабочее состояние каждого клапана и состояние подачи жидкости по трубопроводу. Автоматическое отключение подачи жидкости, раннее предупреждение и сигнализация о рабочем состоянии каждой части системы, самопроверка и подтверждение безопасности, простая система, поддержка нескольких языков, поддержка нескольких входных сигналов, сканер кодов, высокоэффективный фильтр, датчик открытия двери (опционально).

*Панель аварийного ручного управления
*Высокоэффективный фильтр
*Датчик двери

Специализированные химические вещества, обрабатываемые в производстве.
HF — фтороводородная кислота
HCl — соляная кислота
H2O2 - перекись водорода
КОН - гидроксид калия
HNO3 - Азотная кислота
NH4OH — гидроксид аммония
H2SO4 - Серная кислота

CDM and CDS Application:
Полупроводник
Фотоэлектрический
Солнечная энергия
Жидкокристаллическая панель
Оптическое волокно
Другие области производства

Function Of CDM and CDS:
Chemical filtration
Chemical sampling
Chemical circulation
Chemical delivering

Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов

модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)

Компания Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd. предлагает передовые решения для работы с химическими веществами сверхвысокой чистоты (UHP), включая модули подачи химических веществ (CDM) и системы подачи химических веществ (CDS). Системы CDS и CDM от Jewellok автоматизируют работу с химическими веществами высокой чистоты. Система CDS используется для транспортировки больших объемов веществ со склада на предприятие по электрополированным трубопроводам из стали 316L. Система CDM используется для точного смешивания и разбавления в месте использования. Обе системы обеспечивают безопасность и чистоту благодаря автоматическому обнаружению утечек и бесконтактному контролю уровня.

These instructions outline the standard operation for Jewellok’s Системы доставки химических веществ (СДВ) и Delivery Modules (CDM) to ensure safety and ultra-high purity (UHP) standards.

1. Bulk Supply and Delivery (CDS)
The CDS manages the automated transport of bulk chemicals from storage to the facility. Operators must monitor the non-contact level sensors via the HMI panel to track real-time consumption. The system utilizes automated changeover protocols; when a supply barrel is empty, the system will switch sources to maintain a bubble-free flow. Ensure all 316L electropolished piping connections are inspected during scheduled maintenance to prevent particle contamination.

2. Mixing and Dispensing (CDM & VMB)
The CDM handles precise blending and dilution at the point-of-use. Users must select the pre-programmed recipe control to automate the mixing of chemicals with DI water. Use the Valve Manifold Box (VMB) to isolate specific branch lines when servicing individual tools without halting the entire facility supply.

3. Safety and Waste Protocols
All units feature automatic leak detection and secondary containment. If an alarm sounds, the system will automatically trigger a safety shut-off. For organic solvents, ensure nitrogen blanketing is active to prevent oxidation and fire hazards.