نظام توصيل المواد الكيميائية السائلة فائقة النقاء ونظام مناولة المواد الكيميائية السائبة لغرف التنظيف الخاصة بأشباه الموصلات

نظام توصيل المواد الكيميائية السائلة فائقة النقاء ونظام مناولة المواد الكيميائية السائبة لغرف التنظيف الخاصة بأشباه الموصلات

In the high-stakes environment of semiconductor fabrication, Ultra-High Purity (UHP) liquid chemical delivery systems are essential for maintaining wafer yield. These systems provide a seamless, automated link between bulk chemical storage and the sensitive tools inside the cleanroom.
ال Bulk Chemical Delivery Handling System serves as the facility’s primary infrastructure. It is engineered to transport large volumes of acids, bases, and solvents from external tank farms or global drum rooms. To prevent contamination, these systems utilize electropolished 316L stainless steel or high-grade PFA piping. By implementing automated pressure-transfer or mag-drive pumping, the system ensures a steady, pulse-free flow while minimizing the risk of chemical crystallization or particle generation.
ال UHP Liquid Chemical Delivery System focuses on the “final mile” of distribution. It incorporates advanced filtration and أجهزة استشعار مستوى بدون تلامس to monitor chemical consumption in real-time. Safety is paramount; these systems feature secondary containment, automated leak detection, and nitrogen blanketing to prevent oxidation. By automating the supply, manufacturers eliminate manual handling errors, drastically improving operator safety and ensuring that only the purest chemicals reach the production line.

البيانات الفنية

نموذج JW-200L-CDM، JW-1000L-CDM
حجم خاص لخزانة الغاز W2200*D1500*H2000 (أسطوانتان)/W2990*D2100*H2000 (أسطوانتان)
مصدر الطاقة لخزانة التحكم 220 فولت تيار متردد، 50 هرتز، 0.5 إلى 3 كيلو واط، حماية من التسرب
تطهير PN2، SS316 1/2 بوصة SWG
مياه فائقة النقاء UPW، JIS 16A الربط
الهواء المضغوط CDA، SS316 1/2 بوصة SWG
مخرج النفايات مصرف، مقبس انصهار PP DN20 / مصرف، مقبس انصهار PP DN25
المعدات القياسية غلاف من البولي بروبيلين + نافذة مراقبة شفافة من البولي فينيل كلوريد + صمام داخلي لأنبوب من البولي فلورو أميد، ضخ النيتروجين، أخذ العينات، إمداد حمض أوتوماتيكي بالكامل، تبديل أوتوماتيكي بين البرميلين الأيمن والأيسر. يحتوي جسم المضخة على وظيفتين ووظيفة احتياطية. يمكنه التبديل تلقائيًا بين عملية إمداد السائل وفقًا لمستوى السائل في البرميل. تعرض شاشة اللمس حالة عمل كل صمام وحالة إمداد السائل في خط الأنابيب. يتم قطع إمداد السائل تلقائيًا، مع إنذار مبكر لحالة تشغيل كل جزء من النظام، وفحص ذاتي وتأكيد لسلامة النظام المتعددة، وهو نظام بسيط يدعم لغات متعددة، ويدعم مدخلات إشارات متعددة، وماسح ضوئي للرموز، وفلتر عالي الكفاءة، ومستشعر باب (اختياري).

لوحة تشغيل يدوية للطوارئ
فلتر عالي الكفاءة
*مستشعر الباب

 

Application:
شبه موصل
الكهروضوئية
طاقة شمسية
لوحة الكريستال السائل
الألياف الضوئية
مجالات إنتاج أخرى

 

المواد الكيميائية المتخصصة التي يتم التعامل معها
حمض الهيدروفلوريك (HF)
حمض الهيدروكلوريك (HCl)
H2O2- بيروكسيد الهيدروجين
هيدروكسيد البوتاسيوم (KOH)
حمض النيتريك (HNO3)
هيدروكسيد الأمونيوم (NH4OH)
حمض الكبريتيك (H2SO4)

 

وظيفة:
Liquid chemical filtration
Liquid chemical sampling
Liquid chemical circulation
Liquid chemical delivering

وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)
وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS)

وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
وحدة توصيل المواد الكيميائية السائلة ونظام توصيل المواد الكيميائية
جهاز إمداد السائل الكيميائي التلقائي
جهاز إمداد السائل الكيميائي التلقائي

 

تُقدّم شركة شنتشن جويلوك للتكنولوجيا المحدودة حلولاً متطورة للتعامل مع المواد الكيميائية فائقة النقاء، تشمل وحدة توصيل المواد الكيميائية (CDM) ونظام توصيل المواد الكيميائية (CDS). يعمل نظاما CDS وCDM من جويلوك على أتمتة عمليات التعامل مع المواد الكيميائية عالية النقاء. يُستخدم نظام CDS لنقل المواد بكميات كبيرة من المخزن إلى المنشأة عبر أنابيب 316L المصقولة كهربائياً. بينما تُستخدم وحدة CDM للمزج والتخفيف الدقيقين عند نقطة الاستخدام. يضمن كلا النظامين السلامة والنقاء من خلال الكشف الآلي عن التسرب ومراقبة مستوى المواد دون تلامس.