Zeer nauwkeurige chemische doseermodule (CDM) voor de distributie van halfgeleiders en zeer zuivere chemicaliën.

Hoogprecisie chemische doseermodule (CDM) voor de distributie van halfgeleiders en zeer zuivere chemicaliën Inleiding Naarmate de halfgeleiderproductie zich steeds meer richt op kleinere procesknooppunten, hogere waferopbrengsten en geavanceerdere fabricagetechnologieën, is de precisie van chemische doseersystemen steeds belangrijker geworden.






