Levering van CVD-gasprecursoren: beste praktijken voor een veilige en efficiënte werking
Toediening van CVD-gasprecursoren: beste praktijken voor een veilige en efficiënte werking Inleiding Chemische dampafzetting (CVD) is een van de belangrijkste productietechnologieën die worden gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche, LED-, MEMS-, geavanceerde coating- en nanotechnologie-industrie. Naarmate de geometrie van apparaten steeds complexer wordt…
