Etichetă: CVD gas supplier

Tehnici avansate de livrare a precursorilor de gaz prin depunere în fază CVD pentru fabricarea semiconductorilor

modul de livrare a produselor chimice (CDM) și sistem de livrare a produselor chimice (CDS)

Tehnici avansate de livrare a precursorilor de gaz prin depunere la cald (CVD) pentru fabricarea semiconductorilor Introducere Pe măsură ce dispozitivele semiconductoare continuă să evolueze către noduri de proces mai mici, densități mai mari de tranzistori și arhitecturi tridimensionale din ce în ce mai complexe, cerințele pentru precizia procesului au atins niveluri fără precedent. Printre tehnologiile critice…