Автоматизированные системы подачи жидких органических химикатов, системы подачи химикатов и сбора отходов (CDS и CDM).

Автоматизированные системы подачи жидких органических химикатов, системы подачи химикатов и сбора отходов (CDS и CDM).

Компания Shenzhen Jewellok Technology Co., Ltd. предлагает передовые решения для работы с химическими веществами сверхвысокой чистоты (UHP), включая модули подачи химических веществ (CDM) и системы подачи химических веществ (CDS). Системы CDS и CDM от Jewellok автоматизируют работу с химическими веществами высокой чистоты. Система CDS используется для транспортировки больших объемов веществ со склада на предприятие по электрополированным трубопроводам из стали 316L. Система CDM используется для точного смешивания и разбавления в месте использования. Обе системы обеспечивают безопасность и чистоту благодаря автоматическому обнаружению утечек и бесконтактному контролю уровня.

Технические данные

Модель JW-200L-CDM, JW-1000L-CDM
Специальный размер газового шкафа Ш2200*Г1500*В2000 (двойной барабан)/Ш2990*Г2100*В2000 (двойной барабан)
Источник питания шкафа управления 220 В переменного тока, 50 Гц, 0,5–3 кВт, защита от утечки тока.
Удалять PN2,SS316 1/2″SWG
Сверхчистая вода UPW, соединение JIS 16A
Сжатый воздух CDA,SS316 1/2″SWG
Сливное отверстие Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN20/Сливной патрубок, полипропиленовый патрубок DN25
Стандартное оборудование Корпус из полипропилена + прозрачное смотровое окно из ПВХ + внутренний трубный клапан из PFA, продувка азотом, отбор проб, полностью автоматическая подача кислоты, автоматическое переключение между левым и правым резервуарами. Насос имеет два режима работы и один резервный. Автоматическое переключение режима подачи жидкости в зависимости от уровня жидкости в резервуаре. Сенсорный экран отображает рабочее состояние каждого клапана и состояние подачи жидкости по трубопроводу. Автоматическое отключение подачи жидкости, раннее предупреждение и сигнализация о рабочем состоянии каждой части системы, самопроверка и подтверждение безопасности, простая система, поддержка нескольких языков, поддержка нескольких входных сигналов, сканер кодов, высокоэффективный фильтр, датчик открытия двери (опционально).

*Панель аварийного ручного управления
*Высокоэффективный фильтр
*Датчик двери

Специализированные химические вещества, обрабатываемые в производстве.
HF — фтороводородная кислота
HCl — соляная кислота
H2O2 - перекись водорода
КОН - гидроксид калия
HNO3 - Азотная кислота
NH4OH — гидроксид аммония
H2SO4 - Серная кислота 

CDM and CDS Application:
Полупроводник
Фотоэлектрический
Солнечная энергия
Жидкокристаллическая панель
Оптическое волокно
Другие области производства

 

Function Of CDM and CDS:
Chemical filtration
Chemical sampling
Chemical circulation
Chemical delivering

 

Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
Модуль подачи жидких химических реагентов и система подачи химических реагентов
модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)
модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)
модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)
модуль подачи химикатов (CDM) и система подачи химикатов (CDS)

 

In modern semiconductor and chemical manufacturing, handling organic solvents requires a closed-loop approach that prioritizes безопасностьчистота, and environmental responsibility. An Integrated Organic Chemical Automatic Liquid Supply System manages the entire lifecycle of a chemical, from initial delivery to final waste recovery.
Automatic Liquid Supply and Delivery (CDS)
The supply side of the system is designed to transport organic chemicals—such as photoresists, thinners, and cleaning solvents—from bulk storage tanks or drums to the production line. To prevent fire hazards common with organic materials, these systems often use explosion-proof components и nitrogen blanketing to displace oxygen.
The delivery modules utilize UHP (Ultra-High Purity) piping, typically made of PFA or electropolished stainless steel, to ensure zero metallic contamination. High-precision sensors and non-contact level monitors track chemical usage in real-time, triggering automatic changeovers between supply barrels to ensure the manufacturing process never runs dry.
Chemical Delivery/Dilution (CDM)
Before reaching the wafer, many organic chemicals require precise mixing. The CDM automates this by blending concentrated solvents with DI water or other additives. By using automated recipe control, the system eliminates human error, ensuring that every batch meets the exact concentration required for consistent etching or stripping results.
Waste Collection Systems
The process concludes with the Waste Collection System. Once chemicals are used, they are automatically diverted into dedicated waste streams based on their composition. This segregation is critical for preventing dangerous chemical reactions and facilitating solvent recovery. Automated pumps move the waste into specialized storage tanks equipped with leak detection and vapor recovery units, ensuring that no toxic fumes escape into the facility.
By integrating supply, delivery, and waste collection into a single automated loop, manufacturers achieve a “hands-off” environment that maximizes operator safety while maintaining the extreme purity levels demanded by the industry.