Tag: CVD Gas

Teknik Penghantaran Prekursor Gas CVD Lanjutan untuk Pembuatan Semikonduktor Pengenalan Memandangkan peranti semikonduktor terus berkembang ke arah nod proses yang lebih kecil, ketumpatan transistor yang lebih tinggi dan seni bina tiga dimensi yang semakin kompleks, keperluan untuk ketepatan proses telah mencapai tahap yang belum pernah terjadi sebelumnya. Antara teknologi kritikal…