일: 2026년 06월 12일

반도체 제조를 위한 고급 CVD 가스 전구체 공급 기술

화학물질 공급 모듈(CDM) 및 화학물질 공급 시스템(CDS)

반도체 제조를 위한 첨단 CVD 가스 전구체 공급 기술 소개 반도체 소자가 더 미세한 공정 노드, 더 높은 트랜지스터 밀도, 그리고 점점 더 복잡해지는 3차원 구조를 향해 계속 진화함에 따라, 공정 정밀도에 대한 요구사항은 전례 없는 수준에 도달했습니다. 핵심 기술들 중에서…